Bartels微泵是可以控制和操縱少量流體的設(shè)備。盡管通常將任何類型的小型泵稱為微泵，但更精確的定義將這一術(shù)語限制為功能尺寸在微米范圍內(nèi)的泵。這種泵在微流體研究中特別受關(guān)注，并且近年來已可用于工業(yè)產(chǎn)品集成。與現(xiàn)有的Bartels微泵相比，它們的整體尺寸小，潛在成本高和計(jì)量精度提高，激發(fā)了人們對(duì)這種創(chuàng)新型泵的興趣。

 

　　Bartels微泵的機(jī)械分類：

　　隔膜微型泵：

　　使用隔膜的重復(fù)驅(qū)動(dòng)來驅(qū)動(dòng)流體。隔膜位于主泵閥上方，主閥位于進(jìn)口和出口微型閥之間。當(dāng)膜片通過某種驅(qū)動(dòng)力向上偏轉(zhuǎn)時(shí)，流體被吸入入口閥并進(jìn)入主泵閥。然后降低膜，使流體通過出口閥排出。重復(fù)該過程以連續(xù)泵送流體。

 

　　壓電微型泵：

　　是排量往復(fù)隔膜泵的最常見類型之一。壓電驅(qū)動(dòng)的微型泵依靠壓電陶瓷的機(jī)電性能響應(yīng)施加的電壓而變形。附著在膜片上的壓電盤引起膜片偏轉(zhuǎn)，該膜片偏轉(zhuǎn)由外部軸向電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)，從而使微型泵的腔室膨脹和收縮。這種機(jī)械應(yīng)變導(dǎo)致腔室內(nèi)的壓力變化，從而導(dǎo)致流體的流入和流出。流速由材料的極化極限和施加在壓電上的電壓控制。與其他驅(qū)動(dòng)原理相比，壓電驅(qū)動(dòng)雖然需要相對(duì)較高的驅(qū)動(dòng)電壓和壓電陶瓷的復(fù)雜安裝過程，但仍可實(shí)現(xiàn)高行程量，高驅(qū)動(dòng)力和快速的機(jī)械響應(yīng)。

　　尺寸最小的3.5x3.5x0.6mm 3壓電微型泵由Fraunhofer EMFT開發(fā)，該機(jī)構(gòu)是世界著名的研究機(jī)構(gòu)，專注于MEMS和微系統(tǒng)技術(shù)。Bartels微泵由三層硅組成，其中一層作為泵隔膜從上方限制泵腔，而另外兩層分別代表中間閥芯和底部閥芯。被動(dòng)瓣閥在入口和出口的開口根據(jù)流動(dòng)方向進(jìn)行定向。負(fù)壓施加到壓電泵上時(shí)，隔膜會(huì)膨脹，從而產(chǎn)生負(fù)壓，將流體吸入泵室。反之，當(dāng)正電壓將隔膜向下推動(dòng)時(shí)，會(huì)導(dǎo)致過壓打開出口閥并迫使流體流出腔室。